新材料科技與化學(xué)技術(shù)創(chuàng)新
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半導(dǎo)體國產(chǎn)化加速！濕電子化學(xué)品與特氣市場快速增長（附項(xiàng)目表和項(xiàng)目地圖）
2021-04-04 18:43
半導(dǎo)體濕電子化學(xué)品，是指主體成分純度大于99.99%，雜質(zhì)和微粒濃度符合嚴(yán)格要求的化學(xué)試劑，主要由上游酸、堿、醇、酮等為原料，經(jīng)過預(yù)處理、過濾、提純等工藝生產(chǎn)得到的高純度半導(dǎo)體化學(xué)品材料，按功能途徑可大致分為清洗劑、研磨液、光刻膠配套試劑、蝕刻液、顯影液、摻雜試劑、電鍍液等。
半導(dǎo)體制造用濕電子化學(xué)品用量雖小，但生產(chǎn)技術(shù)要求最高，產(chǎn)品純度、雜質(zhì)含量等要求也是最高。目前半導(dǎo)體濕電子化學(xué)品市場主要由歐美及日本頂尖化工企業(yè)如巴斯夫、默克、霍尼韋爾、三菱化學(xué)、住友化學(xué)、京都化工等所占據(jù)。
整個晶圓制造過程中，要反復(fù)通過十幾次清洗、光刻、蝕刻等工藝流程，每次都需要濕電子化學(xué)品進(jìn)行相關(guān)的處理。從整個半導(dǎo)體集成電路的制作流程看，濕電子化學(xué)品主要用于半導(dǎo)體集成電路前端的晶圓制造以及后端的封裝測試環(huán)節(jié)。晶圓制造是屬于技術(shù)要求最高的環(huán)節(jié)，并且隨著集成電路的集成度不斷提高，要求的線寬不斷變小，薄膜不斷變薄，相應(yīng)需要技術(shù)水平更高的濕電子化學(xué)品才能滿足工藝生產(chǎn)需要。
目前國內(nèi)6吋及以下晶圓加工所用的濕電子化學(xué)品的國產(chǎn)化率已經(jīng)超過80%。8吋晶圓產(chǎn)品加工所用的濕電子化學(xué)品國產(chǎn)化率正在不斷提升，而12吋晶圓產(chǎn)品所用的濕電子化學(xué)品國產(chǎn)化率非常低。
近來來，中國多個8吋或12吋晶圓廠項(xiàng)目落地投產(chǎn)，帶動了材料及設(shè)備的需求。而近幾年，美國對中國企業(yè)的出口管控、技術(shù)封鎖，日本對韓國半導(dǎo)體材料的限制出口等一系列情況，再一次敲響了半導(dǎo)體國產(chǎn)化的鐘聲。未來或許有更多的資金投入到國內(nèi)晶圓廠的建設(shè)。
根據(jù)未來中國半導(dǎo)體晶圓產(chǎn)能進(jìn)行推算，亞化咨詢預(yù)計(jì)到2025年，中國半導(dǎo)體用濕電子化學(xué)品需求量將接近70萬噸。
——企業(yè)份額與國產(chǎn)化機(jī)遇
雖然中國市場空間廣闊，但在濕電子化學(xué)品的高端產(chǎn)品上，中國企業(yè)并不占優(yōu)。
國際上，濕電子化學(xué)品的應(yīng)用始于20世紀(jì)60年代，早于中國十幾年，因而最先進(jìn)的技術(shù)被歐美、日本等國家和地區(qū)壟斷。目前，國際上制備了SEMI G1至SEMI G4不同等級的濕電子化學(xué)品標(biāo)準(zhǔn)，領(lǐng)先的企業(yè)在G4等級技術(shù)上趨于成熟，并在G5等級已有突破。
全球濕電子化學(xué)品的第一大市場份額，由歐美傳統(tǒng)老牌企業(yè)產(chǎn)品占領(lǐng)，其市場份額(以銷售額計(jì))約為33%。德國的巴斯夫(Basf)公司、E.Merck公司、美國的亞什蘭集團(tuán)、Arch化學(xué)品公司以及霍尼韋爾公司等是其中代表。
第二大市場份額，由日本的十家左右生產(chǎn)企業(yè)擁有，約占27%的市場份額。其大型企業(yè)包括關(guān)東化學(xué)公司、三菱化學(xué)、京都化工、日本合成橡膠、住友化學(xué)、和光純藥工業(yè)(Wako)、stella-chemifa公司等。
第三大市場份額，主要由中國臺灣企業(yè)生產(chǎn)的濕電子化學(xué)品所占據(jù)，約占全球市場份額的19%。中國臺灣與韓國的部分產(chǎn)品已具備與歐美及日本企業(yè)競爭的實(shí)力。
中國大陸大多數(shù)企業(yè)濕電子化學(xué)品產(chǎn)品等級在SEMI G1至G2，部分企業(yè)在單一產(chǎn)品上達(dá)到SEMI G3級別，只有極少數(shù)企業(yè)個別產(chǎn)品達(dá)到SEMI G4級別，與世界領(lǐng)先水平還有較大差距。在濕電子化學(xué)品的高端產(chǎn)品上，國產(chǎn)化率僅10%左右。內(nèi)資企業(yè)的布局集中于中低端市場。
濕電子化學(xué)品領(lǐng)域，江化微、晶瑞股份等少數(shù)企業(yè)產(chǎn)品技術(shù)等級可達(dá)到SEMI標(biāo)準(zhǔn)G4、G5級，客戶覆蓋中芯國際、華潤微電子、長電科技等企業(yè)，興發(fā)集團(tuán)、巨化股份等企業(yè)也有布局。
國內(nèi)主要半導(dǎo)體濕電子化學(xué)品布局情況：
電子氣體種類繁多，是半導(dǎo)體制造過程中的重要材料，可以分為大宗氣體、外延氣體、蝕刻氣體、摻雜氣體等。由于現(xiàn)在對半導(dǎo)體產(chǎn)品的性能及參數(shù)要求極為苛刻，因此對產(chǎn)品制造的環(huán)境要求就變得極為嚴(yán)格。由于晶圓制造過程對電子氣體的需求很大，又對氣體本身的純度要求很高，因此目前晶圓制造用電子氣體的市場主要被掌握著高純工藝、能大規(guī)模量產(chǎn)的歐、美、日巨頭公司所占據(jù)，如美國空氣化工、林德&普萊克斯、法國液化空、日本大陽日酸、昭和電工等。
中國產(chǎn)業(yè)發(fā)展早期，在技術(shù)、工藝、設(shè)備等各方面與全球龍頭企業(yè)存在較大差距。在電子氣體領(lǐng)域，空氣化工、林德-普萊克斯、液化空氣、大陽日酸等國際氣體公司占據(jù)著中國絕大部分電子氣體市場。國內(nèi)本土氣體企業(yè)的市場份額不到20%。
而蓬勃發(fā)展的芯片制造產(chǎn)業(yè)和OLED顯示制造業(yè)，對電子氣體需求量極速攀升，而中國本土的氣體生產(chǎn)企業(yè)也在快速切入電子氣體領(lǐng)域或是擴(kuò)充電子氣體產(chǎn)能。亞化咨詢預(yù)計(jì)，到2025年中國半導(dǎo)體用電子氣體市場將達(dá)到12億美元左右
隨著中國半導(dǎo)體制造產(chǎn)業(yè)迅速發(fā)展，在國家政策鼓勵，大基金支持和市場需求的驅(qū)動下，電子氣體將迎來空前發(fā)展機(jī)遇。
來源：亞化咨詢《中國電子氣體年度報告》
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